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    微納加工技術(shù)

    微納加工技術(shù)

    騰景科技現(xiàn)已建立衍射光學設計、全息光刻、激光直寫、干法刻蝕、納米壓印、鍍膜、精密切割和測試等全方位的技術(shù)能力。

     

    復雜DOE的設計能力

    全息光刻:孔徑40X10mm、光柵周期0.1-3000 線對/mm

    激光直寫:DOE制作

    干法刻蝕:介質(zhì)和金屬

    納米壓印:光柵、波導、偏振片

    支持多種材質(zhì):各種介質(zhì)氧化物,硅,熔石英,或聚合物

    用途:單色分束,光譜儀器,色散補償,CGH球差補償,

    以及高能激光合束等

     

    ?體布拉格光柵(VBG) :  已有現(xiàn)成產(chǎn)品批量發(fā)貨

    -激光鎖模,窄帶濾波
    -高功率合束
    -脈沖整形

    ?WSS 光柵:可送樣

    ?Diffuser/DOE:可送樣